硅微谐振式加速度计结构设计与仿真优化

doi:10.3969/j.issn. 1674-5558.2016.01.008

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导航与控制 ›› 2016, Vol. 15 ›› Issue (1) : 41-46. DOI: 10.3969/j.issn. 1674-5558.2016.01.008

硅微谐振式加速度计结构设计与仿真优化

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Structure Design and Simulated Optimization of Silicon Resonant Accelerometer

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2014-12-10
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